5-aksede fræsede keramiske isolatorer til halvlederudstyr og renrum

I den højrisikoverden inden for halvlederproduktion og renrumsmiljøer skal hver komponent levere fejlfri ydeevne.PFT, vi specialiserer os i håndværk5-aksede fræsede keramiske isolatorerder omdefinerer præcision og pålidelighed. Med over 20+Med mange års ekspertise er vores løsninger konstrueret til at opfylde de strenge krav til halvlederudstyr, hvilket sikrer termisk stabilitet, elektrisk isolering og kontamineringsfri drift i ultrafølsomme miljøer.

Hvorfor vælge vores 5-aksede, fræsede keramiske isolatorer?

1.Avancerede produktionskapaciteter

Vores anlæg er udstyret medAvancerede 5-aksede CNC-fræsemaskiner, hvilket muliggør præcision på mikronniveau i formgivningen af ​​avancerede keramikmaterialer som aluminiumoxid (Al₂O₃), siliciumcarbid (SiC) og aluminiumnitrid (AlN). I modsætning til konventionelle metoder muliggør 5-akset bearbejdning komplekse geometrier – kritiske for komponenter som waferløftestifter, dele til aflejringskammeret og plasmaresistente isolatorer.

Nøglefunktioner:

•Præcision:±0,005 mm tolerance for problemfri integration i ASML-litografiværktøjer eller Lam Research-ætsesystemer.
•Materialets alsidighed:Optimeret til 99,8% aluminiumoxid, SiC med høj renhed og andre avancerede keramiktyper.
•Overfladefinish:Ra <0,2 μm for at minimere partikelgenerering i ISO klasse 1 renrum.

2.Proprietær procesteknik

Vores ingeniører har udvikletlukkede proceskontrollerder tilpasser sig keramikkens sprødhed under bearbejdning. Ved at kombinere tørfræsningsteknikker med vibrationsdæmpning i realtid opnår vi revnefri overflader og forlænget levetid for komponenterne – selv under ekstreme termiske cyklusser (op til 1.600 °C).

Innovationsfokus:

•Stresslindringprotokoller:Minimér mikrofrakturer i AlN-isolatorer til CVD-applikationer.
•Efterbehandlinger:HIP (Hot Isostatic Pressing) forbedrer densitet og korrosionsbestandighed.

3.Strenge kvalitetssikring

Enhver isolator gennemgår12-trins inspektion, herunder:

•CMM (Koordinatmålemaskine)validering af kritiske dimensioner.
•Helium-lækagetestfor vakuumkompatibilitet.
•EDS (Energidispersiv røntgenspektroskopi)for at verificere materialets renhed.

VoresISO 9001/14001-certificeret systemsikrer sporbarhed fra indkøb af råvarer (fra Tier 1-leverandører som CoorsTek) til endelig emballage.

Anvendelser: Hvor præcision møder ydeevne

Vores isolatorer er pålidelige inden for:

•Ætse- og aflejringsværktøjer:SiC-belagte komponenter til plasmamodstand i Applied Materials™-moduler.
•Ionimplantater:Løftestifter af aluminiumoxid med antistatiske belægninger for at forhindre waferglidning.
•Målesystemer:Isolatorer med lav termisk ekspansion til EUV-litografiske scener.

Casestudie:En førende halvleder-OEM reducerede værktøjsnedetiden med 40 % efter at have skiftet til vores specialdesignede SiC-brusehoveder, som overgik konkurrenternes dele i 300 mm waferbehandling.

Ud over produktion: En partnerskabstilgang

•Hurtig prototyping:Indsend dine CAD-filer og modtag funktionelle prototyper inden for 7 dage.
•Emballage til renrum på stedet:Valgfri klasse 10 renrumsenhed til direkte værktøjsintegration.
•Livstids teknisk support:Vores ingeniører tilbyder slidanalyse og ombearbejdning for at forlænge komponenternes levetid.